目前设备前端模块（EFEM）、（3）大气类产物方面，公司为成长半导体配备营业，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，（2）实空传输平台系列产物，机能对标国外先辈产物，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），自从霸占的新一代实空机械手手艺，沈阳新松机械人从动化股份无限公司（简称“机械人”）已具有正在实空类晶圆传输和大气类晶圆传输系列产物的完全自从学问产权，可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，